باعتبارها جوهر المعدات رقاقة تصنيع، كانت تكنولوجيا الطباعة الحجرية نقاط الضعف في الصين، المستوى الفني لهم وتقييد بجدية في تطوير تكنولوجيا رقاقة الصين. الهولندية معدات الطباعة الحجرية ASML شركة متقدمة في العالم، وتهميش اليابان مصنعي المعدات الحجرية تدريجيا، والبلاد لا تزال هناك فجوة كبيرة. حتى أعلى عملية الطباعة الحجرية شركة أجنبية في الصين وكم الفرق تقنية الجيل هو؟

معقد عملية تصنيع أشباه الموصلات تصنيع رقاقة للذهاب من خلال الكثير من العمليات، كل عملية لديها التكنولوجيا الأساسية، هي أيضا واحدة من الطباعة الحجرية، وآلة الطباعة الحجرية هي المعدات الهامة في صناعة أشباه الموصلات. تصنيع الرقائق يمكن استخدامها لوصف اللمسة الذهبية، رقاقة السيليكون من القيمة الأولية للرقاقة يمكن أن تحول 12 مرة. عندما المواد الخام إلى رقائق، وهي مغلفة مادة حساسة للضوء على الرقاقة باستخدام ينعكس آلة الطباعة الحجرية الضوئية لنسخ الدوائر المعقدة على مادة حساس، ومن ثم الحفر آلة للكشف عن رقاقة لحفر بعيدا الزائدة. بعد عملية زرع الأيونات المعقدة الأخرى سيكون لها خصائص أشباه الموصلات، واختبار أخيرا، تقسيم، وإنتاج الانتهاء رقاقة تعبئتها. هذه العمليات، وقد لعبت الطباعة الحجرية دورا هاما للغاية.

حتى يتسنى لنا فهم أكثر سهولة الطباعة الحجرية، ولدينا أمور مشتركة في الحياة اليومية كمثال: أضواء LED يعملون لتوفير الطاقة وحماية البيئة، والطاقة الخضراء، وتشكيله على وجه التحديد من قبل ضوئيه من المتناهية الصغر والنانو (P، N مفرق) لتحقيق الخفيفة؛ TV والهواتف النقالة، وكانت أجهزة الكمبيوتر قادرة على عرض مجموعة متنوعة من الصور، بل هو تشكيله من مجموعة متنوعة من هياكل النانو المتناهية الصغر معدني المقابلة لكل بكسل داخل لوحة، الكمبيوتر هو المركزة التعبير الطباعة الحجرية، وحدة المعالجة المركزية والذاكرة هي نتاج اللوحات عملية الطباعة الحجرية، وبطاقات الرسومات وهلم جرا، وقد استفادت من التقدم في تكنولوجيا الطباعة الحجرية (الحد الأدنى معالجة خفض حجم)، مما يجعل لدينا وحدة المعالجة المركزية بشكل أسرع وأسرع وأكثر والمزيد من الذاكرة، السبب في سيارة تعرف درجة حرارة الهواء، ما إذا كان حزام الأمان تثبيتها، ما إذا كان إغلاق الباب، والحالية سرعة السيارة والوقود وهكذا دواليك، مشتق من مجموعة متنوعة من أجهزة الاستشعار باستخدام الصغرى بالقطع تقنيات الطباعة التصويرية، وكان الروبوت قادرا على إكمال مجموعة متنوعة من الحركات المعقدة، تتم معالجتها باستخدام الطباعة الحجرية رقائق التحكم المختلفة، وأجهزة الاستشعار، التحكم في الحركة، نانو تشكيله باستخدام microneedles ضوئيه يمكن أن يكون حقن غير مؤلم، وتطبيق لتخفيف الألم المريض في الطباعة الحجرية ...... نيابة عن تكثر الحياة.

باعتبارها جوهر المعدات رقاقة تصنيع، كانت تكنولوجيا الطباعة الحجرية نقاط الضعف في الصين، المستوى الفني لهم وتقييد بجدية في تطوير تكنولوجيا رقاقة الصين. الهولندية معدات الطباعة الحجرية ASML الشركة المتقدمة في العالم، وتدريجيا تم تهميش اليابان معدات الطباعة الحجرية المصنعين (مثل كانون ونيكون)، والبلد لا تزال هناك فجوة كبيرة، وحاليا 82 من سوق معدات الطباعة الحجرية ASML الشركة الهولندية تم حكرا على 7nm الأكثر تقدما، عملية 5nm معدات الطباعة الحجرية ASML هو تصنيع فقط، ولكن أيضا في منطقتنا الطباعة الحجرية R & D، ولكن هذه التكنولوجيا لا تزال متخلفة نسبيا، غير قادر على تلبية متطلبات شريحة التكنولوجيا الحديثة.

التاريخ الصينيين والاجانب لتطور مقارنة الطباعة الحجرية

الصين آلة الطباعة الحجرية وضعت في أواخر 1970s بدأت، والنموذج الأولي لجهة الاتصال أو القرب الطباعة الحجرية، 85 سنوات لإكمال أول خطوة آلات الطباعة الحجرية، ثم التكنولوجيا قد تتقدم.

في عام 1977، أول آلة الطباعة الحجرية GK-3 الطباعة الحجرية شبه التلقائي الصين لدت، كانت JKG-3 نوع الطباعة الحجرية معدات الطباعة الحجرية تصنيع أكثر تقدما LSI، والتي هي خفيفة اتصال آلة الحفر. (وو ارتفع أولا .75 ملم نصف آلية الطباعة الحجرية رقاقة معدات أشباه الموصلات، 1979 (04): 24-28).

JKG-3 نوع الطباعة الحجرية

1978، 1445 يقع على أساس GK-3 وضعت GK-4، وتجهيز القطر يفر من 50 ملم إلى 75 ملم، زادت درجة الأتمتة، ولكن أيضا آلة الطباعة الحجرية الاتصال.

نفس الفترة، بدأ معهد أشباه الموصلات لتطوير آلات القرب الطباعة الحجرية JK-1 شبه التلقائي، نجحت في تطوير نموذجين في عام 1981.

الولايات المتحدة في 1950s لديها بالفعل الطباعة الحجرية الاتصال، وجود اختلاف في فترة عشرين عاما. عند هذه النقطة آلة ASML الطباعة الحجرية العملاقة لم يظهر حتى الآن (1984، ولدت ASML)، وكان نيكون اليابانية وكانون بدأت أواخر 1960s لدخول هذا المجال.

في عام 1979، قامت وزارة الكهرباء و45 من أصل خطوة خطوة تطوير آلات الطباعة الحجرية، حول موضوع 4800DSW الأمريكية. في عام 1985، حدد النموذج الذي وضعته وزارة تكنولوجيا الإلكترونيات التي وصلت إلى مستوى 4800DSW. إذا لم يكن هناك معلومات الخطأ، التي ينبغي أن تكون الخطوة الأولى الطباعة الحجرية الصين الإسقاط، وذلك باستخدام G-خط 436 نانومتر ضوء (تشو الحصول. تنميتنا الخطوة الطباعة الحجرية (وDSW) والثابت . المعدات الالكترونية، 1991 (03): 30-38). ووفقا لهذا الوقت العد عقدة، لا تتجاوز الصين في خطوة الفجوة الطباعة الحجرية مع الدول الأجنبية 7 سنوات (US 1978).

مارس 1990، والأكاديمية الصينية للعلوم الكهروضوئية المتقدمة IOE1010G المباشر خطوة وتكرار الإسقاط الطباعة الحجرية النموذج من خلال تقييم، والعمل قرار 1.25 ميكرون، والمؤشرات الفنية الرئيسية تقبل نوع GCA8000 الولايات المتحدة من مستوى، أي ما يعادل مستويات منتصف 1980s الأجنبية.

في عام 2000 بدأت البلاد مشروع الطباعة الحجرية المنتدى الاقليمى للاسيان 193 نانومتر. وبدأت ASML فوق البنفسجي البحوث الطباعة الحجرية والعمل التنموي الآلات، وضعت في عام 2010 أول نموذج فوق البنفسجي، وأسهم سامسونج، TSMC، وإنتل معا تشجيع البحث والتطوير. هذا هو كامل وراء ASML 20 عاما.

الصين حاليا يمكن للشركات المصنعة والدولة من آلة الطباعة الحجرية الفن

1، شنغهاي الدقيقة معدات المحدودة

تأسست شنغهاي الدقيقة مارس 2002، عددا من القواعد قاعدة صناعة الدوائر المتكاملة الوطنية في البلدان المجاورة، وأشباه الموصلات وطني الإضاءة القاعدة الصناعية والإنجازات أمن المعلومات الوطنية 863 في الصناعة (شرق) قاعدة. الشركة وضعت الطباعة الحجرية السلسلة 600، حققت الإنتاج الضخم من 90nm، ويجري حاليا دراسة عملية 65nm.

شنغهاي التعبئة والتغليف الإلكترونيات الدقيقة آلة الطباعة الحجرية على حصة سوقية عالية جدا، وخاصة في السوق المحلية. في الطباعة الحجرية العودة التعبئة والتغليف لديها لتلبية جميع أنواع تكنولوجيا التعبئة والتغليف المتقدمة، ولها القدرة على العرض الأكبر للعملاء، ولكن أيضا تصديرها إلى دول أجنبية. شنغهاي الدقيقة رقاقة الخلفية آلة الطباعة الحجرية التجميع في حصة السوق المحلية من حصتها في السوق العالمية 80 في ما يصل إلى 40. وبالإضافة إلى ذلك، فإن الشركة لتطويرها وتصنيعها لاليجنر LED الإسقاط، وحصتها في السوق من 20.

2 نيوترون الدولة تكنولوجيا الطاقة معهد بحوث NO.45 شركة

شركة مجموعة تقنية النيوترون من معهد بحوث NO.45، تحت إلكترونيات الصين مجموعة التكنولوجيا المحدودة، مجالها المعدات CMP، معدات تجهيز الكيميائية الرطبة، ومعدات الطباعة الحجرية والرسومات الإلكترونية معدات الطباعة، والمواد المتقدمة تجهيز معدات وأجهزة التعبئة والتغليف، الخ أنه يحتوي على ميزة قوية. في الوقت الحاضر، أنها حققت حجم الإنتاج من جهاز معدني من 1500nm.

3، والأساسية شو خفى أشباه الموصلات المحدودة

الأساسية ماستر خفى أشباه الموصلات المحدودة تأسست في أبريل 2006، هو الصانع أشباه الموصلات الأول من معدات الطباعة الحجرية المباشر والكتابة. وقد حققت الشركة المتقدمة للATD4000، أكبر قدر من 200nm القدرات.

4، وأول تنغ الإلكترونيات الضوئية والتكنولوجيا المحدودة

تأسست أول تنغ الضوئية في أبريل 2013، وحقق أعلى كمية الإنتاج 200nm في معدات أشباه الموصلات والمواد الدولي 2014 المعرض، وأظهرت تنغ الكهروضوئية حقوق الملكية الفكرية تقنية LED إنتاج آلة الطباعة الحجرية أولا مستقلة تماما، صدمت الأربعة.

5، ووشى سرعة الظل أشباه الموصلات والتكنولوجيا المحدودة

تأسست سرعة الظل وشى في يناير كانون الثاني عام 2015، والشركة هي مشروع مشترك الظل السرعة من ذوي الخبرة الأكاديمية الصينية للعلوم في معهد صناعة الالكترونيات الدقيقة الفريق التقني، صندوق صناعة شارك في تأسيس شركات التكنولوجيا الفائقة والمتخصصة في المعدات والالكترونيات الدقيقة. وتمتلك الشركة المتقدمة بنجاح سرعة الفيلم المستخدمة في مجال معدات لصنع لوحة الكتابة / الطباعة الحجرية مباشرة ليزر أشباه الموصلات، و(LDI) الدولية الأولى الجدول المزدوج سرعة الاتصال ليزر جهاز التصوير المباشر، وقد حقق ذلك أكبر قدر من 200nm القدرات.

في الوقت الحاضر، يمكن للصين أن إنتاج آلات الطباعة الحجرية، فإن الشركة لديها اكثر من خمس، والأكثر تقدما هي شنغهاي الدقيقة معدات الشركة عملية الطباعة الحجرية هي إنتاج رقائق 90 نانومتر. وفقا للشائعات الصناعة، وقد شنغهاي الدقيقة أيضا على جبهة 65nm المعدات عملية الطباعة الحجرية وضعت (التقييم العام الجاري). تكنولوجيا الطباعة الحجرية إلى 90nm هي خطوة حاسمة جدا، الشركات المصنعة للأجهزة أخرى عبرت مستوى 90nm، وراء ذلك من السهل لتطوير 65nm جهاز معدني، والأجهزة 65nm مرة أخرى بعد الترقية، يمكن أن تتطور من المصنعة بتقنية 45nm آلة الطباعة الحجرية. وهناك تقديرات الصناعة، ومن المتوقع أن يصل إلى مستوى المصنعة بتقنية 45nm في السنوات القليلة المقبلة شنغهاي معدات الطباعة الحجرية الالكترونيات الدقيقة.

A "أعلى دقة" يمكن كسر احتكار حقا الدولي؟

في نهاية العام الماضي، 29 نوفمبر، ومشاريع فائقة الدقة معدات الطباعة الحجرية التي تقوم بها الاكاديمية الصينية للعلوم في معهد البصريات في قبول تشنغدو باعتبارها واحدة من النتائج الهامة للمشروع، طور العلماء الصينيون بنجاح اول فائقة الدقة أعلى للأشعة فوق البنفسجية العالم قرار الطباعة الحجرية والمعدات، وتشكل طريقا نانو عملية الطباعة التصويرية الجديد، مع حقوق الملكية الفكرية المستقلة. ووفقا للتقارير، فإن فريق المشروع بعد ما يقرب من 7 سنوات من البحث، وكسر عدد من التكنولوجيات الرئيسية، ووضع حل كامل من أعلى الدولية أولا فائقة الدقة معدات الطباعة الحجرية فوق البنفسجية، وهو أعلى التعرض مرة واحدة عرض الخط حل 22 نانومتر. 22 نانومتر الطباعة الحجرية يمكن اقتطعت من رقاقة 10 نانومتر. لأن نانومتر الأشعة فوق البنفسجية أدنى عشرة، بحيث نانومتر عشرة أو أقل وكان لاستخدام التعرض لأخطار متعددة. - "تقنية التعرض مزدوجة بالتزامن مع رقائق ال 10 المقبلة يمكن أن تستخدم لتصنيع النانو".

في ذلك الوقت هذه المحطة CCTV الطباعة الحجرية مثل هذه التقارير:

فائقة الدقة معدات الطباعة الحجرية التنفيذ السلس للمشروع، وكسر احتكار الأجانب في مجال المعدات الحجرية الراقية، وتوفير وسيلة جديدة لحل تجهيز نانو البصرية، ولكن أيضا للجيل الجديد من تكنولوجيا المعلومات والمواد الجديدة، وغيرها من مجالات التكنولوجيا المتقدمة من الاستراتيجية الحيوية الطبية و الدفاع والأمن الأساسي والحدود يوفر الدعم الفني الأساسي.

نائب كبير المصممين للمشروع، الباحث في معهد CAS العرض البصريات هو الأغنية: "وأعربت الأولى لأول مرة في المستوى الحالي لدينا، وعقد المجتمع الدولي ما يصل الى نفس المستوى من مؤشر قرار في الواقع تنتمي إلى حظر الأجانب. مؤشر، خرجنا هذا الحصار مشروع مساعدة كبيرة لكسر ".

"والثاني إذا حظر الأجانب نحن لا يلزم أن يكون خائفا، لأننا ثم انتقل على هذه التكنولوجيا، ونحن نعتقد أننا يمكن أن يكون ضمان في تطوير مستقبل الرقاقة، الجيل القادم من شرائح متكامل البصرية والكهربائية أو نقول رقاقة المعمم (المناطق المتقدمة)، هناك من المرجح أن تتحول إلى تجاوز نزهة في الجبهة ".

؟ ومع ذلك، فإن الواقع هو حقا ذلك يجري تدريجيا مهمشة حتى الشركات المصنعة للمعدات اليابانية تكنولوجيا الطباعة الحجرية، هو في الحقيقة "سبع سنوات" السيف التابع للأكاديمية الصينية للعلوم الكهروضوئية المحاصرين معه الجواب:؟ بالتأكيد ليس صحيحا.

يبدو أول فائقة الدقة الدولية الأشعة فوق البنفسجية أعلى دقة معدات الطباعة الحجرية، لا يعني أن رقاقة الصين تصنيع الفور قدم وساق. هذا الحجرية هناك بعض القيود التي وCAS الكهروضوئية، ووفقا للتقارير، فقد تم إعداد هذه المعدات سلسلة من جهاز نانو وظيفية، وتتألف من القطر الكبير مرآة رقيقة، أسلاك متناهية الصغر فائقة التوصيل كشف عن فوتون واحد، والإشعاع كيرينكوف الأجهزة والكيميائية والبيولوجية رقاقة الاستشعار، سطح جدا للجهاز التصوير وما شابه ذلك، للتحقق من جهاز نانو وظيفية مجهزة تجهيز القدرات، قد وصلت إلى المستوى العملي.

وبعبارة أخرى، في الوقت الحاضر المعدات الرئيسية لتصنيع ومناطق أخرى من الأجهزة البصرية. في الطريق الصناعي لا يزال الطريق طويلا. لا يمكن إلا أن هذه المعدات "فائقة الدقة ضوئيه" أن تستخدم بكميات صغيرة، وحقل صغير (عدة مليمترات مربعة)، والطبقة السفلى عملية دقة منخفضة تراكب، وانخفاض الغلة، وصغر حجم الركيزة (4 بوصات أو أقل) والعائدات المنخفضة (بضع قطع في الساعة) الأجهزة النانوية بعض معالجة خاصة. ولكن انظر خط عرض مزايا القرار، بالمقارنة مع ضرورة أن نرى نفس التجارية السائدة المنتدى الاقليمى للاسيان الغمر إسقاط الطباعة الحجرية، التي الحقول نظر مختلفة، والعائد، تراكب دقة والعائد. وبالتالي فإن الطريقة التي الصناعة لا تزال الخام نسبيا.

وقالت بعض مستخدمى الانترنت القدرات التقنية الحالية، وهذا الجهاز يمكن أن تفعل سوى خطوط ودورة النقطية، لا يمكن إنشاء الرسومات المعقدة اللازمة IC. لذلك، فإننا لا يمكن أن يهز أي شيء ASML في IC وضع التصنيع.

المصدر: ittbank