الأخيرة "طورت الصين بنجاح أول قرار فائقة الدقة في العالم أعلى معدات الأشعة فوق البنفسجية الطباعة الحجرية"، ومكشطة الأخبار. بعض الناس فرحوا، والبعض الآخر رافض. حتى في نهاية المطاف كيف قوة هذه المعدات والماشية الماشية في النهاية أين؟

الإجابة أولا سؤالين نحن نشعر ببالغ القلق إزاء ما يلي:

1، ونحن يمكن تحقيق توطين الكامل للرقاقة حتى الآن؟

A: مؤقتا حتى الآن.

2، لا تهب الأسود، هذا الجهاز حقا سيئا للغاية، أم أنك مجرد المفاخرة؟

A: في الواقع قوية جدا.

كثير من الناس مجرد التحديق في خبر هذا في 22nm المؤشر، في الواقع، علينا أن نركز عليه هو " 365nm مصدر الضوء، تعرض احد العرض حتى في 22nm . "لاحظت أن بالإضافة إلى بضع كلمات سوداء المفتاح حتى الآن؟ مؤشرات في 22nm رغم كبيرة ولكن منذ فترة طويلة تم القيام به هذه الصناعة، وفي النهاية حيث الكثير من ذلك؟ لذلك المفتاح هو أن تفعل مع 365nm مصدر الضوء التعرض مرة واحدة في 22nm، وفهم وجهة المعرفة البصرية ماذا يعني ذلك: كسر الحد حيود التقليدي.

لذا في رأيي، أعظم قيمة هذا الجهاز التحقق من مأكل السطح (SP) الطباعة الحجرية معالجة جدوى .

ماذا عن هذا التناقض SP ASML الطباعة الحجرية آلة الطباعة الحجرية مع ذلك؟ ولإعطاء مثال على ذلك غير مناسب، انها مثل الأسلحة النارية في وقت مبكر، ومعظم القوس والسهم قوية وهو يتناقض. الأسلحة النارية في وقت مبكر، مثل المسدسات، أم اطلاق النار بعد دقة اطلاق النار والقوس أقل بكثير قوية والسهم، ولكن كان الآن على الرضوخ بندقية قنص رمي خارج المجرة، وهذا هو مبدأ النصر .

لفهم فقط وقال هذا "مبدأ النصر" في النهاية كيف هو، علينا أولا أن ننظر في ASML ممثلة في الطباعة الحجرية التقليدية هي كيفية القيام به.

آلة الطباعة الحجرية ASML أعلاه هو التخطيطي بسيط، معدات مراقبة متطورة جانبا جانبا، والمبدأ الأساسي هو نمط على microprinting الشبيكة يمكن تصوير من قبل نظام موضوعي. المتعلقة بعملية التصوير، وعلينا أن ننظر في الحد حيود الضوء. حتى جانبا كل الانحرافات الهندسية، وذلك بسبب الحيود، بعد تشكيل نقطة متناه في الصغر سوف تصبح لويحات منتشر، وتسمى "القرص إيري". وهكذا القرار الفعلي للنظام بصري التصوير قادر على بالضبط اثنين إيري المسافة الفاصلة القرص.

لذلك، ويرجع ذلك إلى تأثير الحيود، والتصوير القرار يقتصر يتوقف القرار النهائي على الطول الموجي، المعلمات الفتحة العددية، أصغر من الطول الموجي، وارتفاع القرار من الفتحة العددية أكبر. لذلك سنوات ASML البحوث هو استخدام موجات أقصر الرئيسية (بالقرب من الأشعة فوق البنفسجية - دي يو - فوق البنفسجي)، مما يزيد من الفتحة العددية (عدسة موضوعية أكثر تعقيدا، وسائل الغمر). ولكن كل أخرى أصبحت أكثر صعوبة، وتصميم النظام، وتجهيز والتجمع، والكشف عن الخطأ، والعديد من وضعت متطلبات أكثر صرامة، المزيد والمزيد من التكاليف باهظة إلى الأمام.

ثم الطباعة الحجرية مأكل السطح هو كيف لم كل هذا؟ يشير مأكل السطح إلى الموجات الكهرومغناطيسية المحلية خاصة في سطح المادة، مع المسافة من سطح المادة زيادة سريعة التوهين، ويعتقد عموما أن ترتيب المنطقة الطول الموجي أعلاه لا وجود لها.

أكثر من المدهش هو أنه على الرغم من سطح مأكل موجات ولع الموجات الكهرومغناطيسية الأخرى، ولكن يتم ضغط الطول الموجي إلى حد كبير، نسبة الضغط تعتمد على الخصائص الكهرومغناطيسية من المعلمات المادية.

وهذا يعني أنه عند استخدام مأكل سطح موجة الطباعة الحجرية، من حيث المبدأ لا تخضع لقيود الحد حيود التقليدي.

في مجال البحوث الطباعة الحجرية، لدينا دائما خيارين: ASML اتباع المسار القديم مرة أخرى، أو طريقة أخرى لتجاوز بمبادئ زاوية جديدة؟ بلادنا حاليا خيارين يفعلون. وهذا الجهاز الطباعة الحجرية SP نجحت في تطوير، هي دعونا نرى إمكانية التجاوز حول منحنى. في الواقع، من حيث المبدأ، وهذا هو ببساطة ليس بدوره إلى تجاوز، ولكن الآخرين لا تزال حول الجبل، ونحن في محاولة لضرب نفق ...... وإن لم يكن بعد حفر بالكامل من خلال، ولكن الفجر هو في متناول اليد.

شبكة لى فنغ