Zhaolan بنغ، وليو تونغ الأصدقاء

(علوم المعلومات والتكنولوجيا، جامعة دونغ هوا، شنغهاي 201620)

السيليكون الصلب هو مادة خام هامة لتطوير المحولات والمعدات الصناعية الأخرى، ومستوى جودته يؤثر تأثيرا مباشرا على جودة أداء المنتج. التفتيش اليدوي التقليدي ديه الكفاءة المنخفضة، وخصائص دقة الفقيرة. ويقترح الكشف التلقائي لهذا العيب سطح بناء على رؤية الجهاز. طريقة البحث ونمط مطابقة لمعالجة الصور، التي تم جمعها بواسطة كاميرا CCD لصورة التصحيح الهندسي الصناعي، صورة خياطة إجراء معالجة الخلل، لتحقيق السيليكون الصلب كشف العيوب السطحية قطاع كفاف، واستخراج ميزة، تصنيف الميزة، وبالتالي الانتهاء من تحديد نوعية قطاع الصلب.

رؤية الجهاز، السيليكون قطاع الصلب، كشف عيب، ويكون التصنيف ميزة

السيليكون الصلب هو مادة خام هامة لتطوير المحولات والمعدات الصناعية الأخرى، والتي هي ذات نوعية جيدة السطحية والخواص الميكانيكية وقد استخدم على نطاق واسع في هذا المجال، وبالتالي مواصلة تعزيز وتحسين نوعية الشريط السيليكون الصلب له أهمية كبيرة [1]. مع معالجة الإشارات والكمبيوتر تحسين التكنولوجيا الرقمية، كان جهاز صورة عالية الدقة الاستشعار عن بعد، حقيقي عملي نظام التفتيش التطور السريع [2].

في هذه الورقة، استنادا إلى عيوب سطح الشريط السيليكون الصلب رؤية الجهاز كشف وتحديد التقنيات الآلية، في مزيد من المعالجة من قطاع السيليكون الصلب الأساسي يجعل إنتاج المواد الخام في عملية إنتاج المحولات، وطريقة معالجة الصور ومطابقة النقش على أساس برامج المحاكاة MATLAB، صور حصلت المقابلة لمعالجة الصور، وذلك لتحقيق حكم عيب في القطاع وتحديد نهاية المطاف نوعية قطاع الصلب.

نظام الإنتاج في المحيط معدل انتقال خط الشريط هو 0 ~ 40 م / دقيقة باستخدام كاميرا CCD الحصول على الصور من معدل اكتساب الصناعي ما يصل الى 16 / ثانية، دقة وضوح الصورة المكتسبة لل1392 1040. من أجل زيادة سرعة تجهيز النظام، ويجب النظر في البرنامج لتحديد خوارزمية معالجة الصور ووضع عملية الكشف عن الخلل، ومن ثم القيام معالجة كمية هائلة من البيانات صورة ضمن فترة زمنية محدودة، وتأكد من أن تأثير الهدف النهائي، وبالتالي تلبية عيب في ظل ظروف دقة الكشف، والسيطرة على نحو فعال تعقيد الخوارزميات والبرمجة البرمجيات في التصميم العام مهم جدا.

نظام 2

مخطط نظام 2.1

عيوب السيليكون قطاع الصلب على أساس نظام رؤية الجهاز تلقائيا بالكشف عن تحديد المخطط الانسيابي هو مبين في الشكل.

اكتساب 2.2 صورة

جانب صورة نقل الشريط خط نقل نصب كاميرات CCD الصناعية ومصابيح LED، المتصلة بجهاز الكمبيوتر والكاميرا، وكاميرا ثم قم بتشغيل برنامج الصناعي الاستشعار البصرية على الكمبيوتر، ومن ثم التحكم في الكاميرا لاطلاق النار على قطاع غزة، والتي اتخذت في ل الكمبيوتر.

صورة التصحيح الهندسي 2.3

في عملية الحصول على الصور، لأن الكاميرا سوف تحدث يميل قليلا بحيث الجيل الصورة المكتسبة التشويه الهندسي، والحاجة بالتالي أول صورة التصحيح الهندسي. ويضم التصحيح الهندسي عنصرين رئيسيين: إحداثيات بكسل من تصحيح تدرج وتقدير بكسل [3].

(1) باستخدام إحداثيات بكسل تصحيح التحول اسقاطي تتم مع الشكل العام للتصحيح التشويه الهندسي. التحول الإسقاط هو استخدام الصورة الأصلية للعثور على عدد وافر من نقاط المراقبة، مع تحديد إحداثيات صورة مشوهة عن نقاط التحكم بها المقابلة، واستخدام هذه البنى المكانية المقابلة تنسيق التحول يمكن تحديده، واستخدام التكوين النهائي لكل المكاني تحويل الصور المشوهة بكسل تحول، للحصول على إحداثيات صورة تصحيحها.

إحداثيات (2) من بكسل الصورة الرقمية هي الأعداد الصحيحة، والإحداثيات المحتسبة بعد لا يكون صحيحا، الأمر الذي يتطلب أن تحسب بكسل من خلال تقديرات الرمادية بكسل. هنا شبه خطيه الاستيفاء الرمادي وقدر. المترابط الاستيفاء هو أقحم الاتجاهين وفقا لإحداثياتها على نطاق والرمادية من نقطة حوالي 4 بكسل الرمادية. وأخيرا، تتم إزالة الصورة والشريط حافة جزء لا علاقة لها الحصول على صورة تصحيحها.

2 إلى FIG. 5 هو تشويه صورة وصورة بعد التصحيح.

2.4 صورة خياطة

من أجل ضمان حواف عيب صورة تم الكشف عن أن تكون كاملة، والحاجة إلى خياطة الصورة. هنا تجريد وفقا لتردد الكاميرا وسرعة انتقال، اعتبارا من مجموعة المعلمة الربط، عملية حسابية بسيطة للموقف، بحيث اليسار واليمين صورتين المجاورة تتداخل منطقة مشتركة وفعالية الربط، ثم مع اقليم صورة الانصهار تلك التي الصورتين تتداخل تسهيل انتقال وتصفيتها خط فاصل واضح [4]، كما هو مبين في الشكل.

2.5 تقليل الضوضاء

ويرجع ذلك إلى عوامل بيئة الإنتاج، والتلوث الضوضائي مثل بالنور، سيتم الحصول على الصورة، مما أدى إلى تدهور صورة، فمن الضروري لتقليل الضوضاء صورة.

متوسط الترشيح هي فعالة جدا من حيث الضجيج تسهيل الدافع، وأنه يمكن حماية صورة حواف حادة، دون طمس صورة ملحوظ [5]. وعلاوة على ذلك الصورة صاخبة المويجات تحويل معالجة، وتقليل الضوضاء المويجات ديه عدد وافر خصائص القرار، وdecorrelation، بعد إزالة معاملات المويجات الضوضاء والصور التي أعيد بناؤها تفعل عكس المويجات تحويل، لإعطاء صورة denoised النهائية [6]. بعد المقارنة، يقوم باستخدام صورة عملية تقليل الضوضاء على أساس المويجات تحويل والجمع بين مرشح المتوسط، في حين إزالة الملف الشخصى الحماية من الضوضاء صورة الحافة، صورة denoised كما هو مبين في الشكل.

2.6 تحسين الصور

من أجل عيوب أكثر وضوحا على قطاع الصلب، وبعد الانتهاء من تقليل الضوضاء صورة، ومعالجة تحسين الصورة. وعلى سبيل المقارنة، لابلاس اتخاذ النهائي شحذ الأساليب. FIG 8 هو صورة محسنة.

2.7 عيب كفاف استخراج

احتياجات استخراج كفاف ليكون معيبا بعد صورة محسنة، وبالتالي يمكن أن يكون بصريا حافة المعلومات عيب. هنا تأخذ حكيم المشغل الكشف عن حافة عيب استخراج صورة كفاف. منذ مشغل التمويه وظيفة الترشيح، ومقاومة الضوضاء القوية، وإشارة جيدة للمزايا الأداء الضوضاء وتحديد المواقع، وقادرة على استخراج كفاف دقيقة [7]، أظهرت النتائج في الشكل 9. بعد ذلك، كفاف التوسع الصورة وعملية ملء يظهر في [8]، وبالتالي الحصول على خريطة خلل واضح، كما هو مبين في الشكل (10).

2.8 عيب استخراج ميزة

عيب استخراج الميزة لحساب القيم الذاتية من العيب، استعدادا لتصنيف العيب. وبالنسبة للنظام البصري الإنسان، فمن يمكن تحديد سمة هامة من شكل الجسم، ويتميز الكائن في مستقر [9]، وبالتالي تستخدم هذه الدراسة تصنيف ميزة الشكل.

إحداثيات صورة بكسل (س، ص) ويمثل، والقيم بكسل الرمادي يمثلها و (س، ص)، التي تقدر قيمتها 0 أو 1. دعونا R تكون كل مجموعة من بكسل، R 'هو عبارة عن مجموعة من وحدات البكسل في منطقة عيب. للهندسة عيب تستخدم عادة لوصف الميزات المذكورة على النحو التالي:

محيط (1) من العيوب، أي عيوب طول الحدود، التي يمثلها هنا رمز سلسلة محيط، أي العثور على رمز محيط سلسلة طول الحساب. عندما قيمة رمز السلسلة، بل هو، وطول تدل بنسبة 1، وعندما رمز السلسلة هو عدد فردي، وطول تدل بنسبة 2. محيط:

حيث: N N هي الحدود ورمز سلسلة (الاتجاه 8) وعدد فردي من اقتران الخطوات في الخطوة تتحرك.

المنطقة (2) خلل، أي عدد البكسل المعيبة في المنطقة، مثل التعبير عن صيغة (2):

(3) منطقة الاستدارة، أي مدى منطقة دائرية تقريبا:

(4) من منطقة مستطيلة، أي في منطقة الحد الأدنى من المستطيل مقيدة ونسبة مساحتها، وهي منطقة يعكس ما تتمتع به من المستطيل أرفق بها:

Sbox هي مساحة المستطيل أرفق، مستطيل ليس أكثر من 1 درجة.

حساب المعادلة لاستخراج الخصائص المذكورة أعلاه، الصورة العليا التي تم الحصول عليها في نهاية المطاف هو L = 1.4357E + 04، S = 209787، C = 0.0128، R = 0.5701، وفقا لالصانع نظرا معايير الجودة تقييم يمكن تحديد أن هذا العيب هو مجال العيوب.

2.9 تصنيف العيوب

بعد الانتهاء من معالجة الصور، ونوعية الشريط السيليكون الصلب وفقا لمتطلبات الشركة الصانعة، لتقييم نوعية الشريط السيليكون الصلب، وفئات مختلفة في النهاية يتوقف على نوعية الصلب، لتلبية احتياجات السوق المختلفة.

3 الخاتمة

توضح هذه المقالة أنظمة الكشف عن صورة عيب التلقائي، تقنيات المعالجة التي تستخدم صورة، الصور المكتسبة لسلسلة من العملية، وبالتالي الحصول على صورة خلل واضحة، ثم تصنيفها وفقا لخصائص شكل من العيب، وفقا لالمصنعة للنهائي إن معايير تقييم الجودة من الصلب تقييم دقيق لنوعية السيليكون الصلب كشف الانتهاء القطاع.

مراجع

[1] MIKOLAJCZYK K، SCHMID C. وتقييم الأداء واصفات المحلية [J]. IEEE المعاملات على تحليل نمط وآلة الاستخبارات، 2005،27 (10): 16151630.

[2] WU G، K شو، شو J. تطبيق ميزة استخراج وطريقة الأمثل لسطح عيب الاعتراف جديد من المدرفلة على البارد شرائط [J]. مجلة جامعة العلوم والتكنولوجيا بكين 2007، 14 (5): 437442.

[3] Daijian فنغ. كاميرا أوتوماتيكية تشويه شعاعي نظام التصحيح [D]. قوانغتشو: جامعة جنوب الصين للتكنولوجيا، عام 2010.

[4] Shaoxiang شين. الصورة الرقمية خياطة البحوث الخوارزمية الأساسية [D]. تشانغتشون: جامعة جيلين، 2010.

[5] Tangshi وي لين يونيو المويجات تحويل ومرشح متوسطي مجتمعة صورة تقليل الضوضاء [J] معهد هاربين للتكنولوجيا جورنال، 2008،40 (8): 13341336.

[6] اويانغ تشنغ تسى، ويونغ، وقوه الثنائي مثل. صورة تقليل الضوضاء المويجات تحويل وعملية متوسط الترشيح على أساس مزيج من [J]. معهد تشونغ يوان للتكنولوجيا، 2006، 17 (2): 22-25.

[7] تشو تشاو. البحوث وتحسين الكشف عن حافة مشغل حكيم [D] تشونغتشينغ: تشونغتشينغ جامعة عادي، عام 2012.

[8] يان هوي جيانغ بينغ، تشن بوى. أدوات معالجة الصور الرقمية لMATLAB [J]. الحواسيب الصغيرة معلومات، 2010،26 (26): 214216.

[9] تشانغ هونغ تشونغ بينغ. بحث [D] السيارات اللوحة الكشف السريع عن عيوب السطح. شنغهاي: جامعة دونغ هوا، 2014.

مزايا العضوية في نهاية العام بعد التمديد!