حققت الصين اختراقات جديدة في تصنيع الرقائق!
بعد ما يقرب من سبع سنوات من مضنية البحوث، "فائقة الدقة الطباعة الحجرية تطوير المعدات" المشروع من خلال القبول. وهذا يعني ان الصين لديها الآن "الأولى في العالم محطة للأشعة فوق البنفسجية أعلى دقة (أي 22 نانومتر @ 365 نانومتر) فائقة الدقة معدات الطباعة الحجرية".
وبعبارة أخرى، العلماء الصينيين نجحت في تطوير الطباعة الحجرية قوية جدا.
آلات الطباعة الحجرية، التي كانت جوهر معدات الرقائق التصنيع. وقد تمت السيطرة الصين من قبل الآخرين في صناعة الرقائق، وخاصة في مجال آلات الطباعة الحجرية، وكثيرا ما تصادف الاختناق الأجانب، والمحظورة والقيود المختلفة.
لهذا الاختراق، وجهات نظر المجموعة القبول هي:
والطباعة الحجرية في الطول الموجي 365 نانومتر مصدر، الحد الأقصى لعرض الخط من التعرض مرة واحدة إلى 22 نانومتر القرار. مشروع اختراق في القرار محدودة الحيود المبدأ، إنشاء عالية الدقة، مساحات واسعة من نانو الطباعة الحجرية البحوث المعدات وتطوير طرق جديدة، وتجاوز الحواجز الملكية الفكرية الأجنبية ذات الصلة.
وبطبيعة الحال، وقيل جاء الخبر بها، وكثير من الناس قد أشاد، ولكن معظمها غير معروف النوم لي أن المفاخرة. وراء هذا الخبر، في النهاية ماذا يعني ذلك؟
هذا يسلط الضوء على اختراق كثيرة، وأبرزها عدة نقاط، تلخيص المكدسة بإيجاز على النحو التالي:
المصدر: خط رفيع الخام Daoke
آلة الطباعة الحجرية المحلية، وذلك باستخدام 365 الطول الموجي نانومتر مصدر الضوء في نطاق الأشعة فوق البنفسجية القريب.
عادة، من أجل متابعة نانومتر أصغر الطباعة الحجرية حل الشركة المصنعة للجهاز هو الحصول على أقصر ضوء الطول الموجي. ASML هذا الخط من التفكير.
الآن الأكثر استخداما على نطاق واسع المصادر الأجنبية للجهاز الطباعة الحجرية 193 الطول الموجي نانومتر الليزر فوق البنفسجية العميقة ، القرار الحجرية ليست سوى 38 نانومتر، حوالي 0.27 أضعاف الطول الموجي من التعرض.
هذا الحجرية محلية الصنع، ويمكن أن تفعل 22 نانومتر. وعلاوة على ذلك، "جنبا إلى جنب مع تقنية التعرض مزدوجة، أنها يمكن أن تستخدم لتصنيع رقاقة 10 نانومتر المقبل".
وهذا هو، CAS الكهروضوئية التي وضعتها هذه الطباعة الحجرية، والطول الموجي الأطول (القريب الأشعة فوق البنفسجية)، وانخفاض التكلفة (مصباح الزئبق) مصدر للضوء، لتحقيق قرار الطباعة الحجرية أعلى (0.06 أضعاف الطول الموجي التعرض).
قدم نائب كبير المصممين للمشروع، الباحث في معهد CAS البصريات هو جين سونغ في مقابلة مع "الصين للعلوم نيوز" مقابلة، مثال: "هذا هو ما يعادل واحد منا مع سكين سميكة جدا، ونحت خط رفيع جدا". وهذا ويطلق عليه الحد حيود كسر قرار .
لذلك، فمن المعروف أيضا باسم أعلى دقة فوق البنفسجية تايوان الأولى معدات الطباعة الحجرية فائقة الدقة في العالم.
التكلفة: الأجهزة الراقية، "سعر الملفوف"
أقصر من الطول الموجي، وارتفاع التكلفة.
للدقة أعلى، وتقصير لتحسين الطباعة الحجرية باستخدام موجات الضوء، مما يزيد من الفتحة العددية للنظام التصوير مثل مسار التكنولوجيا التقليدية، ولكن المشكلة ليست فقط تقنية صعبة للغاية، تكاليف المعدات مرتفعة جدا .
ASML أحدث جيل الخامس استخدام الطباعة الحجرية أقصر طول موجي 13.5 الأشعة فوق البنفسجية نانومتر المتطرفة (وفوق البنفسجي)، وإنتاج رقاقة لتحقيق 14 نانومتر و 10 نانومتر، و 7 عملية نانومتر.
هذه آلة الطباعة الحجرية بسعر أكثر من 100 مليون $.
الأكاديمية الصينية للعلوم الكهروضوئية من هذه المعدات، واستخدام الطول الموجي الطويل، والطباعة الحجرية فوق البنفسجية أكثر شيوعا تعني استخدام المنزلي مصدر الضوء منخفضة التكلفة لتحقيق دقة عالية الطباعة الحجرية.
وقال بعض مستخدمى الانترنت تقييم آلات الطباعة الحجرية الصينية الصنع يمكن التغلب على الصين وغيرها من المعدات ذات التقنية العالية، مثل، أصبح مستقبل سعر الملفوف.
اختراق: كسر الحصار والتجاوز بدوره
ويبدو آلة الطباعة الحجرية، وهناك أهمية أخرى هامة.
هنا نشير إلى الإذاعة المركزية قال:
فائقة الدقة معدات الطباعة الحجرية التنفيذ السلس للمشروع، وكسر احتكار الأجانب في مجال المعدات الحجرية الراقية، وتوفير وسيلة جديدة لحل تجهيز نانو البصرية، ولكن أيضا للجيل الجديد من تكنولوجيا المعلومات والمواد الجديدة، وغيرها من مجالات التكنولوجيا المتقدمة من الاستراتيجية الحيوية الطبية و الدفاع والأمن الأساسي والحدود يوفر الدعم الفني الأساسي. نائب كبير المصممين للمشروع، الباحث في معهد CAS العرض البصريات هو الأغنية: "وأعربت الأولى لأول مرة في المستوى الحالي لدينا، وعقد المجتمع الدولي ما يصل الى نفس المستوى من مؤشر قرار في الواقع تنتمي إلى حظر الأجانب. مؤشر، خرجنا هذا المشروع مساعدة كبيرة لكسر الحصار . "" والثاني إذا حظر الأجانب نحن لا يلزم أن يكون خائفا، لأننا ثم انتقل على هذه التكنولوجيا، ونحن نعتقد أننا يمكن أن يكون الاطمئنان. في تطوير رقاقة المستقبل، والتكامل الميكانيكية والكهربائية للجيل القادم رقاقة الضوئية أو نقول رقاقة المعمم (المناطق المتقدمة)، وهناك من المرجح أن تتحول إلى مسافة التجاوز في خط الهجوم. "
حد
بالطبع، نحن لا يمكن أن نكون متفائلين.
ظهور هذه المعدات، تصنيع الرقائق لا يعني أن بلدنا قدم وساق ويمكن على الفور. من جهة، تصنيع الرقائق هو البيئة الصناعية الضخمة، من ناحية أخرى الاكاديمية الصينية للعلوم آلة الطباعة الحجرية صورة لا يزال لديه بعض القيود.
ووفقا للتقارير، فقد تم إعداد هذه المعدات سلسلة من جهاز نانو وظيفية، وتتألف من القطر الكبير مرآة رقيقة، أسلاك متناهية الصغر فائق التوصيل كشف عن فوتون واحد، وجهاز الأشعة كيرينكوف، والكيمياء الحيوية رقاقة الاستشعار، سطح جدا للجهاز التصوير وما شابه ذلك، للتحقق من وقد تم تجهيز الجهاز مع القدرة على تجهيز نانو وظيفية، قد وصلت إلى المستوى العملي.
وبعبارة أخرى، هو مفتاح الجهاز في بعض المناطق البصريات.
ولكن هناك تعرف أيضا قالت مستخدمى الانترنت تقريبا أن "القدرات التقنية الحالية، يمكن أن تفعل سوى خطوط ودوت دورة المصفوفة، لا يمكن إنشاء احتياجات الرسومات IC معقدة".
هذه التكنولوجيا بتهمة "عدم استخدام على المدى القصير في IC مجال تصنيع، لا يمكن أن يهز ASML شيء في تصنيع IC ...... ولكن المشكلة تهديد معين لفترة طويلة الأجل لا يزال ممكنا لتحقيق اختراق أكثر أهمية."
الصينية آلة التصنيع الطباعة الحجرية وراء الوضع الراهن
في الوقت الحاضر، الشركات المصنعة للآلات الطباعة الحجرية لها الدولية ASML هولندا، نيكون اليابانية، وكانون. من بينها، وعدد من ASML هو التكنولوجيا الأكثر تقدما.
هناك أيضا آلات الطباعة الحجرية الشركة، والمعدات والالكترونيات الدقيقة مثل شنغهاي، ولكن بفارق كبير عن المستوى الفني للASML.
شنغهاي المعدات الدقيقة تنتج حاليا فقط الطباعة الحجرية رقاقة معالجة 90 نانومتر التكنولوجيا العملية، وهذا هو أعلى مستوى من الطباعة الحجرية المحلية. إنتاج ASML ولديه 7 نانومتر عملية الطباعة الحجرية فوق البنفسجي، هناك فجوة التكنولوجيا من عشر سنوات على الأقل.
الطباعة الحجرية هو جوهر معدات الرقائق التصنيع، وتستخدم ليكون الضعف التقنية الصين. مستوى آلات الطباعة الحجرية يقيد بشدة تطوير تكنولوجيا رقاقة الصين. لقد تم تم "عقد خنق".
الصين صناعة الرقائق SMIC، ونهر اليانغتسى وغيرها من البائعين التخزين لديك لشراء آلة في ارتفاع أسعار الطباعة الحجرية من ASML.
في مايو من هذا العام، وقد ذكرت صحيفة نيكي تعليق أوامر آسيا، SMIC مع آلة الطباعة الحجرية فوق البنفسجي 120 مليون $ لمعدات أشباه الموصلات صانع ASML الدولي، ومن المتوقع أن يتم تسليمها في وقت مبكر من 2019.
وبالإضافة إلى ذلك، ونهر اليانغتسى هذا العام لشراء آلة الطباعة الحجرية الغمر ذاكرة من ASML، وبأسعار تصل إلى 72 مليون $.
ما يسمى الطباعة الحجرية الجهاز في النهاية ما هو؟
الطباعة الحجرية المبدأ
الطباعة الحجرية، واحدة من المعدات الأساسية لصنع رقاقة. الأكاديمية الصينية للعلوم الكهروضوئية هو جين سونغ، وشياو دونغ في "صوت أكاديمية الصينية للعلوم،" مقال نشر في هذا العرض لأهميته:
عصر ما بعد الصناعة، بما في ذلك الصناعة الحالية 3.0 الصناعة 4.0، والقائم على رقاقة، رقاقة تصنيع الآلات الحجرية كأداة، أداة اليد تعادل العصر الصناعي، عصر ما قبل الثورة الصناعية.ولكن أكثر خاص هو أن ضوء آلة الطباعة الحجرية ل "أداة". على وجه التحديد، فإن عملية مثل هذه تقريبا:
في سطح الرقاقة مغطاة حساسية الضوء العالية مقاومة، والمشع ثم الضوء على سطح رقاقة من خلال قناع، والمشع مقاومة للضوء مع الضوء لتتفاعل مع بعضها البعض. بعد غسلها مع مذيب خاص لللإشعاع / لا مقاومة للضوء المشع، وأدركت أنه مخطط الرسم البياني للتحويل من القناع إلى الرقاقة. مقتبس من: "على الطباعة الحجرية ورقة قراءة"، والأوراق المالية لجنة المساواة العرقية
هذا هو مجرد عملية مبسطة، في ظل الظروف العادية، ونحن نريد لخلق شريحة مع آلية الطباعة الحجرية، والحاجة لمئات الآلاف من القنوات وعملية تراكب على البنية الدقيقة للغاية، الحاجة مئات من أجهزة لإكمال.
التطوير الناجح للأكاديمية الصينية للعلوم الطباعة الحجرية آلات، والقدرة على الوصول إلى 22 نانومتر. ما هي الفكرة؟ الأكاديمية الصينية للعلوم المادة يذكر مقارنة:
قطر شعرة من حوالي 80 ميكرون، وقطرها من الشعر 22 نانومتر 1/3600. وبعبارة أخرى، فإن آلة الطباعة الحجرية قادرة على معالجة مجموعة متنوعة من هياكل معقدة على سطح الشعر.هذه الطباعة الحجرية، الذي طور؟
7 الاستكشاف التابع للأكاديمية الصينية للعلوم الكهروضوئية
هذا الجهاز الطباعة الحجرية وراء أكاديمية الصينية للعلوم المؤسسات البحثية هي الضوئية.
أخذ زمام المبادرة في البحث والتطوير لإنجاز هذه المهمة، والأكاديمية الصينية للعلوم في معهد البصريات والإلكترونيات كبير العلماء فائقة الدقة الطباعة الحجرية مشروع المعدات، وأستاذ جامعي من الأكاديمية الصينية للعلوم والدكتوراه Luoxian عصابة باحث.
ويمكن رؤية الوضع الأكاديمي Luoxian قانغ في مجال الكتروضوئي من قائمته الطويلة في عنوان:
الدولة أهم مختبر مدير تقنية الآلات الدقيقة البصري للكبير العلماء الوطنية 973 برنامج، فاز بالجائزة الأولى في السنوي 2016 الدولة الاختراع التكنولوجية، 2017، والأكاديمية الصينية للهندسة، تحييدهم مرشح فعال، وصندوق العلوم الوطني للفائز الشباب المتميزة، رئيس دائرة التنظيم المركزي مليون علماء برنامج المنح الرائدة في عام 2009، "مواهب القرن مشروع جديد" مرشح الوطني في عام 2004، والأكاديمية الصينية للعلوم "مئة وزنة برنامج" جمعية البصرية الصينية، والجمعية البصرية الأمريكية، والجمعية الدولية للهندسة البصرية، الإلكترونيات الضوئية والليزر الدولية أربعة أعضاء من جمعية جمعية الهندسة (زميل).
في عام 1995، والأكاديمية الصينية للعلوم في معهد البصريات الماجستير من البداية، وقد شارك Luoxian قانغ في مجال أكثر الضوئية من 20 عاما، بعد أن أكملت الماجستير والدكتوراه الأكاديمية الصينية للعلوم في معهد البصريات، وذهب إلى معهد اليابان للالبدنية وما بعد الدكتوراه الكيميائية وعالم أبحاث.
وفي عام 2004، عاد Luoxian عصابة للأكاديمية الصينية للعلوم في معهد البصريات وقراءته، بدأ كباحث. 20 عاما من الطريقة الأكاديمية الضوئية، وقال انه نشر ليس فقط أكثر من 100 ورقة في SCI، كما أخرج عشرات درجة الماجستير المتميز الدكتوراه في.
نائب رئيس قسم المشاريع هو جين سونغ أيضا قد ترأس الباحث في معهد CAS من الضوئية التكنولوجيا، والأكاديمية الصينية للجامعة العلوم، دكتوراه، في التعرض لإسقاط التكنولوجيا الضوئية nanofabrication الدقيقة والتكنولوجيا التصنيع الدقيق الطباعة الحجرية لديها ثروة من الخبرة، والتمتع الإعانات الحكومية، على مدى عدد من الوطنية والوزارات والمحافظات المشاريع البحثية، ونشر أكثر من براءات الاختراع عشر.
أكاديمية الصينية للعلوم الانتهاء اتخذت خطة الكهروضوئية سبع سنوات.
وفقا لذكرت الاقتصادية اليومية أنه في عام 2012، والأكاديمية الصينية للعلوم تنقلها الكهروضوئية بواسطة معدات الطباعة الحجرية فائقة الدقة إلى هذه المشاريع البحثية وطنية كبرى ومهام التنمية المعدات، لم يكن لديهم أي خبرة ناضجة الخارجية لنبني عليها.
7 سنوات، وكسر فريق المشروع من خلال التوحيد عالية من الإضاءة، عدسة الطباعة الحجرية فائقة القرار، قرار نانومتر وقياس التخليص وautofocusing فائقة الدقة ومتعددة DOF السيطرة مرحلة الشغل والتكنولوجيات الرئيسية الأخرى، وإنتاج أعلى دقة المرحلة الدولية الأولى UV معدات فائقة الدقة الطباعة الحجرية المتقدمة، والذي يستخدم مصدر الضوء 365 نانومتر الطول الموجي، وعرض واحد خط التعرض للحل السلطة يصل إلى 22 نانومتر (التعرض الطول الموجي حوالي 1/17).
على هذا الأساس، الجمع بين فريق المشروع أيضا فائقة الدقة معدات الطباعة الحجرية البند تطويرها ارتفاع نسبة الارتفاع الحفر، والأخرى التي تدعم عمليات رسومات متعددة لتحقيق 10 نانومتر ميزة معالجة نمط الحجم.
وبالإضافة إلى ذلك، نشرت المشروع 68 ورقة، 92 براءة اختراع اختراع وطنية، 47 منها إذن لتقديم طلب للحصول على براءة اختراع عالمية ثمانية، أذن الأربعة، وتدريب فرقة من تكنولوجيا الطباعة الحجرية فائقة الدقة والمعدات R & D فريق.
- كامل -
التوظيف الصادق
المكدسة تقوم بتجنيد محرر / مراسل، ومقرها في تشونغ قوان تسون في بكين. نتوقع الموهوبين والطلاب المتحمسين للانضمام إلينا! مزيد من التفاصيل، يرجى و qubit عدد الجمهور (QbitAI) واجهة الحوار والرد "تجنيد" كلمة.
و qubit QbitAI عناوين على التوقيع
' " تتبع تقنيات AI دينامية جديدة والمنتجات
