TSMC إنتاج القادمة من معظم 5nm التكنولوجيا المتقدمة في العالم، في قانون مور يبدو للمضي قدما بسلاسة تحت التطوير تعيق الثقيلة التكنولوجية من المواد وارتفاع خفي من على الطاولة.

A أشباه الموصلات الطباعة الحجرية التكنولوجيا لأول مرة ندوة في 2019 في وادي السليكون، وضعت صناعة قدما في خطة لعملية أشباه الموصلات على الرغم من أنك يمكن أن تقدم كل وسيلة ل1nm في السنوات ال 10 المقبلة، ولكن قد يكون بسبب مواد عنق الزجاجة مقاومة للضوء، بحيث العقدة عملية التنمية إلى 3nm عندما ظهر هذا التحذير.

هذا يكشف عن استمرار قانون مور في الحياة، كل مجالات تحتاج إلى المواد والمعدات والصناعات التحويلية وقطاعات أخرى من كامل سلسلة صناعة أشباه الموصلات معا، مثل لعبة الطريق لفتح المعابر، مشاكل تقنية، من أجل المضي قدما بنجاح إلى الوجهة.

فوق البنفسجي هو كيف أصبح قانون مور المروج؟

وأشار إلى أن صناعة التحدي دخلت رسميا من خلال تسويق فوق البنفسجي فوق البنفسجية المدقع، TSMC و سامسونج نجحت في استيراد التكنولوجيا فوق البنفسجي 7nm والإنتاج الضخم، ولكن لا يزال ينظر هذه الصناعة على بعض التقنيات والمواد خفية، حيث ضخمة هو الحصول على عملية 3nm، والحاجة إلى خفض التكاليف، ودقة أعلى فوق البنفسجي تقاوم التكنولوجيا.

عملية تطوير تكنولوجيا الطباعة الحجرية، في البداية، مصنعي أشباه الموصلات أيضا استخدام 193nm الطباعة الحجرية الغمر والتعرض المتعدد، وسيتم توسيع نطاق عملية 10nm و7nm، يصبح من الصعب على نحو متزايد لتحقيق رسومات محددة، ويجلب التعرض متعددة أيضا ارتفاع تكاليف الإنتاج.

بعد إدخال فوق البنفسجي الطباعة الحجرية، والطباعة الحجرية فوق البنفسجي هو دور المفتاح في عملية طبقة 7nm منطقية. قبل إدخال الشركة المصنعة رقاقة، من الطباعة الحجرية فوق البنفسجي، وهو مصدر للضوء، تتكون من مقاومة للضوء والضوئية الرئيسية.

تكنولوجيا فوق البنفسجي من الماضي، وأكثر أهمية في مصدر الضوء، وبسبب عدم وجود قوة المصدر، فإنه سوف يؤثر على كفاءة إنتاج رقاقة، والذي هو السبب لسنوات عديدة تكنولوجيا فوق البنفسجي الماضي قد تأخر الإنتاج الضخم. ASML قضيت الكثير من الوقت لإيجاد حل لمشكلة مصدر الضوء، مصدر الضوء هو أيضا 2013 الاستحواذ على الشركة المصنعة الولايات المتحدة Cymer.

ASML مصدر الطاقة الحالية تصل إلى 250W، في هذه السلطة، والعملاء 155 رقائق في الساعة الإنتاجية، في المختبر، ومصدر الطاقة لا يمكن أن يتحقق في أكثر من 300W.

بعد حل مشكلة مصدر الضوء، وتكنولوجيا فوق البنفسجي هي التحدي الأكثر شيوعا وهذا هو الحد من تكنولوجيا مقاومة للضوء.

عنق الزجاجة الحالي في فوق البنفسجي مقاومة للضوء

على الرغم من أن المعروض من مواد أشباه الموصلات وتركز جدا، ولكن مقاومة وينبغي اعتبار التكنولوجيا وأعلى تركيز في العالم، وأعلى المواد الحواجز واليابان والولايات المتحدة مجتمعة حصتها في السوق 95.

في 248nm 193nm والطباعة الحجرية، وأكثر الرئيسي من 20 سنوات من مقاومات الضوء CAR تضخيم هي الكيمياء العضوية، وهو بوليمر لصنع نمط حساس تشكيلها. في مجال التكنولوجيا فوق البنفسجي، والمنتجات الفوتونات ضرب CAR photoacid مقاومة للضوء، CAR بعد photoacid مقاومة للضوء عملية رد فعل الحفاز بعد التعرض، وبالتالي توليد الزخرفة ضوئيه.

ومع ذلك، عندما تستخدم في جمهورية أفريقيا الوسطى على مقاومة فوق البنفسجي، بسبب زيادة كبيرة في الطاقة الضوئية، قد تبدو مختلفة ونتيجة للمجمع، مما يؤثر على العائد من الشريحة.

ولذلك، فإن أجهزة أشباه الموصلات وموردي المواد وحاولت مجموعة متنوعة من الطرق، أو يقترح الحلول التقنية مقاومة للضوء الجديدة التي تمكن تكنولوجيا فوق البنفسجي يمكن الاستمرار في استخدام، واستمرار قانون مور الحياة.

في السنوات الأخيرة، ومختلف التكنولوجيات الجديدة تأتي تدريجيا فوق البنفسجي مقاومة للضوء، على سبيل المثال، أكسيد المعدن هو من نوع السائل مقاومة للضوء مثل مقاومة للضوء أو النوع الجاف، في سلسلة الايكولوجية صناعة أشباه الموصلات كلها، وهي مادة ذات مبتكرة إلى فرص تجارية ضخمة.

وفوق البنفسجي الجديد مقاومة متنافسين التكنولوجيا

الولايات المتحدة لديها مورد المواد Inpria تشارك بنشاط كبير في مقاومة فوق البنفسجي التكنولوجيا، وجاءت الشركة في عام 2007 من جامعة ولاية أوريغون، ومعهد الكيمياء شركة مستقلة، وبعد الوصول إلى العديد من شركات أشباه الموصلات مثل سامسونج وإنتل وغيرها من الاستثمارات.

Inpria يتم تطوير مقاومة للضوء سلبي، وحجمها الجزيئي. 15 أجزاء في CAR مقاومة للضوء العضوي، والتركيز معدل امتصاص الضوء تصل إلى 4-5 مرات CAR، فمن الممكن أن تكون أكثر دقة، ويتكون شكل أكثر دقة بحيث مخطط الرسم البياني .

ويرجع ذلك أساسا، في 2019 اليابان كوريا الجنوبية تصدير الضوابط فوق البنفسجي مقاومة للضوء، حتى يتسنى للشركات أشباه الموصلات الكورية من أجل العثور على نهج بديل وحلول مبتكرة أكثر نشاطا من مصنعي أشباه الموصلات الأخرى.

ووفقا للتقديرات، وهناك أكثر من 90 من تكنولوجيا أشباه الموصلات مقاومة للضوء الكورية في اليابان تعتمد على العرض، فوق البنفسجي مقاومة للضوء هي أيضا تعتمد اعتمادا كبيرا على اليابانيين.

سامسونج وتسمك هو قدم مصنع أشباه الموصلات في العالم وهما عملية الهجرة فوق البنفسجي، وعلى الجانبين محاربة كل وسيلة من 7nm حتى الآن، TSMC وتقود الطريق إلى الفوز في المستقبل عقدة عملية 3nm، يجب أن يكون سامسونج فهم كامل على المواد، إلى إعلان الحرب مرة أخرى .

ووفقا للبحث عن إحصاءات IC رؤى ثابتة، أقل من حجم إنتاج أشباه الموصلات من 2019 من 10 نانومتر من 1050000 رقائق شهريا، ارتفع إلى 6270000 في الشهر في عام 2023، وعلى مدى السنوات القليلة المقبلة فوق البنفسجي 7nm سوف تهيمن على معظم العمليات التالية التكنولوجيا.

7nm الأقل تقدما زيادة الطاقة الإنتاجية والتكنولوجيا، وأيضا نيابة عن هذه الصناعة برمتها أكثر إلحاحا لفوق البنفسجي الجديد تقاوم التكنولوجيا، والاحتياجات من المواد من مصادر مختلفة.

في الآونة الأخيرة كان هناك فوق البنفسجي الجديد مقاومة التكنولوجيا، هو أيضا مصدر قلق للأبحاث لام وزعيم الطباعة الحجرية ASML، والالكترونيات الدقيقة البلجيكية مركز البحوث IMEC قواها، نقترح فوق البنفسجي مقاومة للضوء التكنولوجيا الجديدة الجافة، والغرض CAR هو استبدال مقاومة للضوء التقليدية، والتي لتطور تكنولوجيا أشباه الموصلات، ويمكن أن يكون اختراقا كبيرا.

Q. مقابلة الأساسية خاصة مع صوت لام بحوث نائب الرئيس التنفيذي ورئيس ريك Gottscho ضابط كبير التكنولوجيا. وقال إن الاستفادة من هذه التكنولوجيا الجديدة لتعزيز حساسية ودقة فوق البنفسجي، ولكن أيضا يمكن أن تقلل من الأصلي 5-10 أضعاف كمية مقاومة للضوء، وبذلك نتائج هامة من حيث وفورات في التكاليف.

لام الأصلي فوق البنفسجي المقترحة مقاومة للضوء الجافة

في الصناعة اليوم والعضوية الكيميائية تضخيم مقاومات الضوء CAR غير العضوية مقاومة تستند ن-CAR، وتستند إلى تكنولوجيا مقاومة للضوء السائلة، قدم التكنولوجيا الجديدة فقط فوق البنفسجي مقاومة للضوء LAM بحوث تقنية الجافة ترسب .

وقال Gottscho تعميم التكنولوجيا الحالية هي مقاومة للضوء CAR، ومقاومة للضوء مع جهاز المغطي السائل المغلفة تدور المسار على الرقاقة، تتم إزالة المذيب بعد التعرض الاستخدام.

وضعت لام البحوث جافة جديدة تقاوم التكنولوجيا هي أنه، على عكس التقليدية مقاوم الضوء السائل طريقة طلاء، وتغيير التفاعل الكيميائي في التجويف، بحيث الجافة مقاومة في ترسيب البخار الكيميائي (الأمراض القلبية الوعائية) أو الذري طبقة ترسب (ALD) تنتج، ثم بعد عملية الحفر لإزالة.

هذا مقاومة للضوء فوق البنفسجي الجافة رفع الميزة أن القرار حساسية التصوير، وقرار والتعرض فوق البنفسجي.

الأهم من ذلك، ونتيجة لتكنولوجيا جديدة لتحسين تكلفة تكنولوجيا رقاقة فوق البنفسجي. لأن الجهاز فوق البنفسجي يتم عرض الإنتاج الضخم في مصنعي أشباه الموصلات العالمية، مما دفع تكنولوجيا أشباه الموصلات في تكنولوجيا أكثر تقدما.

أكد Gottscho والبحوث لام الجافة مقاومة تقنية قد تستخدم جرعة أقل من يتم تقليل تقريبا بنسبة 5 إلى 10 أضعاف المبلغ مقاومة، وصلت دقة أعلى، ونافذة العملية الموسعة، فوق البنفسجي تكون أكثر دقة صورة من نمط الدائرة، فضلا عن العملاء حفظ تكاليف التشغيل.

LAM البحوث وASML، تحالف الفني IMEC التعاون عبر الحدود هو تاريخ طويل.

الهولندية لصناعة معدات الرقائق ASML فوق البنفسجي الطباعة الحجرية هي الرائدة في مجال التكنولوجيا، ومزايا البحث LAM هي حفر وعمليات الترسيب، IMEC هو التركيز على المدى الطويل على الابتكار والتكنولوجيا R & D، والتعاون الثلاثي واثق يمكن كسر التقليد الاتفاقية، وتطوير التكنولوجيا المبتكرة، تكنولوجيا فوق البنفسجي تمتد إلى أكثر تقدما عملية روتينية.

ويتم تحليل صناعة أشباه الموصلات، وCAR التقليدية من 248nm مقاومة للضوء التكنولوجيا آلة التعرض ربما بدأ في 1980s مع المورد الرئيسي للالمغطى مقاومة للضوء لليابانيين، من خلال طوكيو الكترون TEL قاد.

ولذلك، فإن البحوث لام وASML والبحوث IMEC من فوق البنفسجي مقاومة للضوء الجافة التكنولوجيا والمعدات والمواد التي قد تشكل مع الشركات اليابانية في كلا المعسكرين، وكسر قواعد تكنولوجيا أشباه الموصلات القائمة، لصناعة لإحداث تغييرات بعيدة المدى.

ووفقا للبحث ثابتة الفكرة الأساسية معهد (ChipInsights) إحصاءات عام 2019 أعلى 10 (باستثناء إيرادات الخدمات وجزء من المواد) قبل الشركات المصنعة للمعدات أشباه الموصلات العالمية، في المرتبة لام بحوث الرابع، في المرتبة الثانية بعد المواد التطبيقية، ASML، طوكيو للطاقة الكهربائية TEL الإلكترونية.

لام البحوث في أن الواجهة الأمامية للوحة رقاقة طويل التقنيات، بما في ذلك ترسب الفيلم، البلازما الحفر تجهيز، ومقاومة إزالة، والتنظيف، وغيرها من الواجهة الأمامية مخطط العمليات رقاقة، حزمة مستوى القناة ويفر (WLP) وما شابه ذلك. ثلاثة منتجات أساسية والحفر، ومعدات الترسيب، وكذلك تقاوم وتنظيف المعدات.

وهناك أيضا مورد للمقاومة للضوء أشباه الموصلات، ولكن التكنولوجيا الحالية وحصتها في السوق لا يزال بعيدا جدا عن المستوى الدولي، أكثر المعروف خمسة المورد مقاومة للضوء لفرع العاصمة الصينية بكين، جينغ روي، الإلكترونيات الضوئية الجنوبية، مبصرة سعة كبيرة وشانغهاى اكسينيانج وهلم جرا.